Cassa per il progetto di tubi di quarzo ad alta purezza con flange personalizzate Tubo di silice fuso con flange integrata per forno di tubi CVD per semiconduttori Reattore a vuoto-sara
Pubblicato il: June 22, 2026
Caso del progetto: tubo di vetro al quarzo flangiato personalizzato di elevata purezza
Panoramica del caso
Questo caso riguarda la produzione in batch di tubi di quarzo flangiati personalizzati per un produttore di apparecchiature per semiconduttori estero. Il cliente necessitava di tubi in silice fusa ad alta tenuta e resistenti alle alte temperature con flange in quarzo integrate per la camera di reazione CVD e il forno di ricottura ad alta temperatura. Abbiamo fornito una personalizzazione completa e completa, comprese le dimensioni del tubo, la disposizione dei fori dei bulloni della flangia, lo spessore delle pareti e la ricottura di distensione ad alta temperatura, risolvendo i problemi di lunga data di perdite nelle tubazioni, elevato inquinamento da impurità e frequenti rotture dei tubi durante i cicli termici.
Punti critici del cliente prima della cooperazione
- I tubi originali in vetro borosilicato si deformano a temperature di esercizio superiori a 900 ℃, causando perdite nei giunti della flangia e un ambiente di vuoto instabile.
- I normali tubi di quarzo saldati senza ricottura si rompono facilmente dopo ripetuti cicli freddi e caldi, elevati costi di sostituzione e perdite di tempi di fermo della produzione.
- Tolleranza dimensionale incontrollata delle flange, scarso accoppiamento con le attrezzature di tenuta metallica del cliente, bassa resa di lavorazione.
- La materia prima al quarzo di bassa purezza ha portato contaminazione da ioni metallici, influenzando la precisione della lavorazione dei wafer.
La nostra soluzione personalizzata per tubi flangiati al quarzo
- Selezione del materiale: adotta silice fusa sintetica di elevata purezza al 99,99% con basso contenuto di idrossili, senza impurità metalliche, compatibile con il processo ultra pulito dei semiconduttori.
- Flangia per saldatura a caldo integrata: flangia in quarzo con fusibile integrale su singola/entrambe le estremità del corpo del tubo, cordone di saldatura ad alta resistenza, completamente ricotto per eliminare lo stress interno, resistere allo shock termico.
- Lavorazione CNC di precisione: diametro esterno personalizzato, spessore della parete, lunghezza del tubo, diametro esterno della flangia, posizione del foro del bullone e apertura con tolleranza rigorosa ± 0,02 mm.
- Trattamento superficiale: parete interna ed esterna del tubo lucidata a fiamma, liscia senza bolle, graffi o microfessure, eccellente trasmissione dei raggi UV e della luce visibile.
- Personalizzazione strutturale: supporto a flangia singola, doppie flange, fondo a cupola chiuso, struttura resistente all'alta pressione con pareti spesse secondo i requisiti del disegno del cliente.
Consegna ed effetto dell'operazione effettiva
Abbiamo completato la conferma del campione, l'ordine di prova e la produzione di massa entro 12 giorni lavorativi, completato l'ispezione dimensionale completa, il test di invecchiamento ad alta temperatura e il test di tenuta al vuoto prima della spedizione. Dopo l'installazione del cliente e il funzionamento continuo a lungo termine:
- Zero perdite sotto alto vuoto e temperatura di esercizio continua di 1150 ℃;
- Nessuna crepa dopo oltre 100 test di cicli termici, durata utile aumentata di oltre 3 volte;
- Precipitazione di impurità pari a zero, resa del prodotto wafer migliorata del 16%;
- Le dimensioni standard della flangia si adattavano perfettamente alle parti di bloccaggio e sigillatura esistenti del cliente, riducendo notevolmente i tempi di assemblaggio dell'attrezzatura.
